本文標題："質(zhì)量很好的光學儀器制造廠商-光學顯微鏡物鏡設計"
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質(zhì)量很好的光學儀器制造廠商-光學顯微鏡物鏡設計
激光干涉技術
當表面運動只是簡單的震動時，平均速度等于零，激光照
射的表面區(qū)域在整個運動期間實際上沒有變化，信號不受隨機振幅
和相位變化的影響。在這種情況下表位移可以用計周期數(shù)的方法沒
有誤差的無線跟蹤下去。這種儀器的性能很像傳統(tǒng)的邁克爾遜干涉
儀，而不像測速儀。由于信號的等幅的，一般質(zhì)量很好，可用簡單
的計數(shù)器處理。
由于振動表面的速度經(jīng)常改變符號，在研究復雜的振動時
，基本問題是需要知道在任一時刻速度的方向，所以總是需要某種
鑒別方向的方法。最常用的方法是用布喇格器件或電-光器件將參
考光進行頻移動。這個頻率必須大于于最大速度對應的多普勒頻移
，一般幾兆赫就足夠了。帶有電-光頻移器的干涉儀圖，用偏振分
束器分出參考光，同時分束器吧頻移光和未頻移光分開。圖上表示
了在參考光路上用的角立方體反射器。這樣，很容易調(diào)準。偏振方
向相反的信號在分束器上和參考光重新組合，以有利于平衡檢測系
統(tǒng)，平衡檢測器很好地改善輸出信號的品質(zhì)計量信號的周期和同一
時刻頻移的周期，可以確定表面的位移。這些計數(shù)相減，所得的數(shù)
就是以r/2為單位的位移量（如果為處理可能同時到達的信號和頻
移的計數(shù)提供邏輯，用加法或減法計數(shù)器也能達到同樣的結(jié)果）。
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